|
Библиотека Случайная книга
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур – 128с. |
Физические основы функционирования изделий микроэлектроники – 168с. 
Автор: О.В. Митрофанов Издательство: УДК: УДК 621.38, N-М59 Язык: русский
|